３、室間差圧と空気の流れ
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クリーンルームを運用する上で、室間差圧（クリーンルームと隣接する部屋との圧力差）は、とても重要な意味を持っています。
外気を導入し、クリーンルーム内を陽圧に保つ事で、外からの浮遊塵の侵入を防ぐ事ができます。 また、クリーンルーム内で発生した塵が室外に排出されるのも、陽圧が保たれているからです。 |
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一般的な構造のクリーンルーム（商品名：ハードウォールクリーンルーム）の場合、室間差圧は差圧計で確認する事ができます。
特に規定などが無い場合でも、クリーンルームの室間差圧は10〜20 Pa 程度を維持する事が望ましいです。 30 Pa を超える室間差圧になると、ドアの開閉に支障が出たり、排気やリターンの開口部から風切り音が発生するなど、問題が生じてきます。 また、クリーンルーム内の作業員にも圧力よる症状がでる場合がまりますので、適正な室間差圧の範囲を保つような管理が必要になってきます。 | |
室間差圧の他にも、運用上の注意が必要なのが、清浄空気の流れていく方向です。
天井や壁に設置したファンフィルターユニットから、クリーンルームへ清浄空気を送り込んでいるので、その吹出し口周辺は特に清浄度が高い状態を維持する事ができます。 しかし、排気やリターンの開口付近は、室内で発生した塵が流れ着く場所なので、常に高い清浄度を維持するのは難しい環境になります。 | |
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クリーンルーム内の作業であっても、粉塵や煙、あるいは蒸気などが発生する場合があります。
そうした濃度の高い汚染空気をそのままクリーンルームの気流に乗せて排出させてはいけません。 作業場所の付近に排出口を設けたり、ファンを使って局所排気するなどして、速やかにクリーンルーム外へと出す事で室内の汚染拡大を抑えて、高い清浄度を維持する事が可能になります。 |
