１、クリーンルームの基本構造
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クリーンルームを分類する方法はいくつかありますが、形状から分類すると、大きく2つに分けられます。
ひとつは、側面を塩ビカーテンで囲った「ソフトウォールクリーンルーム」で、比較的安価で簡易的なクリーンルームとして使用できます。 側面が塩ビカーテンなので、陽圧を維持したり、温度や湿度を一定に保つ事はできませんが、換気回数を多くする事で、高い清浄度のクリーン環境を構築できます。 |
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もうひとつは、壁も天井も断熱パネルで構成した「ハードウォールクリーンルーム」で、こちらは高機能なクリーンルームを目的としています。
クリーンルーム内の清浄度や室間差圧を高く保つ事ができ、工場や倉庫などの大規模なクリーンルーム環境を構築する事ができます。 また、エアコンや加湿器などを組み込む事で、恒温恒湿のクリーンルームにも対応できます。 |
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