清浄度クラスの意味と規格
クリーンルームの清浄度クラスとは、空気中の粒子の数であり、原則として施工完了時の清浄度を指します。
日本工業規格(JIS)では、1m3の空気中の微粒子数を10のべき乗数で表したべき指数で表します。 長く使われている米国連邦規格(USA Fed.Std.209E)では、1f3(立方フィート≒28.3リットル)中の微粒子数で表します。 JIS B9920の清浄度クラスは、国際標準化機構(ISO 14644-1)がほぼ全面的に採用されています。 |
クリーンルームの清浄度は
空気中のゴミの数! つまり数字が小さいほど クリーンな環境という意味 |
粒径0.1μm の粒子数 | 粒径0.2μm の粒子数 | 粒径0.3μm の粒子数 | 粒径0.5μm の粒子数 | 粒径5μm の粒子数 | |||||||
ISO 14644-1 JIS B9920 | USA Fed.Std.209E | /m3 | /f3 | /m3 | /f3 | /m3 | /f3 | /m3 | /f3 | /m3 | /f3 |
クラス1 | - | 10 | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
クラス2 | - | 102 | - | 24 | - | 10 | - | - | - | - | - |
クラス3 | クラス1 | 103 | 35 | 237 | 8 | 102 | 3 | 35 | 1 | - | - |
クラス4 | クラス10 | 104 | 350 | 2,370 | 75 | 1,020 | 30 | 352 | 10 | - | - |
クラス5 | クラス100 | 105 | - | 23,700 | 750 | 10,200 | 300 | 3,520 | 100 | - | - |
クラス6 | クラス1,000 | 106 | - | 237,000 | - | 102,000 | - | 35,200 | 1,000 | 293 | 7 |
クラス7 | クラス10,000 | - | - | - | - | - | - | 352,000 | 10,000 | 2,930 | 70 |
クラス8 | クラス100,000 | - | - | - | - | - | - | 3,520,000 | 100,000 | 29,300 | 700 |
クラス9 | - | - | - | - | - | - | - | 35,200,000 | - | 293,000 | - |