２、クリーンルームの働き
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クリーンルームの主な働きは、室内の清浄度を保つ事です。
よく誤解される事がありますが、HEPAフィルターを内蔵したファンフィルターユニットは、室内に空気を送り込む為の装置で、塵を吸い込む物ではありません。 通常のクリーンルームは、室内に清浄空気を入れ続ける事で、発塵と一緒に空気を室外に押し出しています。 |
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クリーンルームの性能は、清浄度（クラス）として評価されます。
清浄度は、単位体積当たりの浮遊塵の数で表されますが、この浮遊塵をより少なく抑える（清浄度を高くする）には、換気回数を多くする必要があります。 換気回数は、クリーンルームの容積の分の清浄空気が、1時間当たりに何回入れ替わるかを表しており、より多く入替るほど、高い清浄度を維持しやすくなります。 |
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