3、実験室・研究室クリーンルーム
学校・研究機関など非生産部門では、比較的小規模で高性能なクリーンルームが使われます。
■日本工業大学 機械工学部 微細ディバイス研究室 半導体製造装置組立工場 クラス5(JIS/B9920)・クラス100(USAfed.Std) |
■同上(外観) |
■日本工業大学 機械工学部 微細ディバイス研究室 半導体製造装置組立工場 クラス5(JIS/B9920)・クラス100(USAfed.Std) |
■同上(外観) |