
8、防爆エリア クリーンルーム
防爆仕様のクリーンルームもあります。
![]() ■コーターヘッド室クリーンルーム クラス6(JIS/B9920)・クラス1,000(USAfed.Std) |
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![]() ※同上(防爆型HEPAフィルターFFU) |

![]() ■コーターヘッド室クリーンルーム クラス6(JIS/B9920)・クラス1,000(USAfed.Std) |
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![]() ※同上(防爆型HEPAフィルターFFU) |